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关键词:光束整形器,光束整形DOE,平**光束整形,高斯整平**、高斯光整平**光透镜,Top-Hat,Beam shaper, 把高斯光整形成几十~几百微米平**光斑,均匀性好于90%,效率较高95% 光束整形器是应用较广泛的衍射光学元件(DOE)之一,英文名为Beam shaper,其作用是获得能量分布均匀、边界陡峭,同时具有特定形状的平**光斑(Top-hat)。光束整形器又称为光束整形DOE,平**光束整形,高斯整平**、高斯光整形成平**光透镜,Top-Hat, 1064nm 532nm 355nm 10.6μm激光整形。 光斑尺寸一般在几十微米到几百微米的范围,光斑形状可以是圆形,矩形,正方形,直线,椭圆或可以根据客户需求进行定制。 当激光光束经过光束整形器后,它能使光斑的能量分布得到均匀的处理,达到平**光的效果。这个特性用于激光加工可以防止特定区域过度曝光或曝光不足。 此外,形成的平**光斑的特点是创造了一个尖锐的过渡区,清晰的区分了处理和未处理区域之间的边界。 入射光M2值的影响 光束整形器产生的平**光效果与入射光有很大的关系,一般要求M2值小于1.3,越小越好,如果M2变大,则平**效果随之变差,即平**光斑的均匀性变差且边界陡峭性变差。在这种情况下,需要引入光阑和准直系统,或空间滤波器(spatial filter)对入射激光进行处理。典型的平**光整形系统由一个激光器,一个平**光整形元件和一个聚焦镜组成。 光束整形器对入射的高斯光束进行相位调制而在聚焦镜的近焦平面上得到想要的平**光斑,需要强调的是平**光斑并不是聚焦镜的焦平面上获得的,而是在距离焦平面仅有几个um的平面上,因此安装光束整形器时需要进行细致的三维调节以获得较佳效果。 Holoor光束整形器的特点: 1. 高质量的平**激光光斑,高度均匀性、高光效、边缘陡峭 2. 高能量阈值/高损伤阈值,适用于大功率激光器 3. 可选择增透膜,使整体效率>95% 4. 覆盖紫外到红外的所有激光波段,193nm to 10.6um 5. 几百种标准规格供客户挑选 光束整形器的应用: 由于激光整形元件在微米级的尺度上能够获得高度均匀、边缘陡峭的光斑,在激光加工中能够得到非常精密的加工效果,消除热效应等因素的影响。 激光切割,焊接,划线、激光划片 **薄膜处理,太阳能电池板切割,LED灯丝处理,聚合物薄膜切割等 激光钻孔,激光烧蚀,激光熔融,激光快速成型,激光3D打印 Holoor光束整形器的标准规格 1)1064nm,工作距离100mmm,其他波长请咨询我们 型号 激光波长[nm] 光束直径[mm] 角度[mrad] 光斑尺寸[um] 透镜尺寸[mm] 激光光斑形状 ST-238-I-Y-A 1064 10 0.2 20 25.4 正方形 ST-241-I-Y-A 1064 10 0.2 20 25.4 圆形 ST-276-I-Y-A 1064 10 0.21 21 25.4 直线 ST-278-I-Y-A 1064 9 0.23 23 25.4 直线 ST-237-I-Y-A 1064 9 0.23 23 25.4 圆形 ST-236-I-Y-A 1064 9 0.23 23 25.4 正方形 ST-235-I-Y-A 1064 8 0.26 26 25.4 正方形 ST-240-I-Y-A 1064 8 0.26 26 25.4 圆形 ST-275-I-Y-A 1064 8 0.26 26 25.4 直线 ST-303-I-Y-A 1064 7.5 0.28 28 25.4 圆形 ST-230-I-Y-A 1064 7 0.29 29 20 圆形 ST-277-I-Y-A 1064 7 0.3 30 25.4 直线 ST-234-I-Y-A 1064 7 0.3 30 25.4 正方形 ST-282-I-Y-A 1064 6 0.34 34 25.4 正方形 ST-281-I-Y-A 1064 6 0.34 34 25.4 直线 ST-286-I-Y-A 1064 12 0.35x2.70 35.0x270.0 25.4 长方形 ST-287-I-Y-A 1064 12 0.35x2.99 35.5x299.0 25.4 长方形 ST-239-I-Y-A 1064 6 0.35 35 25.4 圆形 ST-279-I-Y-A 1064 12 0.36x3.00 36.0x300.0 25.4 长方形 ST-284-I-Y-A 1064 12 0.36x2.10 36.0x210.0 25.4 长方形 ST-283-I-Y-A 1064 12 0.36x1.80 36.0x180.0 25.4 长方形 ST-262-I-Y-A 1064 12 0.36x2.10 36.0x210.0 25.4 长方形 TH-257-I-Y-A 1064 12 0.36x5.39 36.0x539.0 25.4 长方形 ST-264-I-Y-A 1064 12 0.36x2.69 36.5x269.0 25.4 长方形 ST-261-I-Y-A 1064 12 0.36x1.78 35.8x178.0 25.4 长方形 ST-288-I-Y-A 1064 12 0.36x3.30 36.0x330.0 25.4 长方形 ST-280-I-Y-A 1064 12 0.36x3.30 36.5x330.0 25.4 长方形 ST-263-I-Y-A 1064 12 0.36x2.39 36.0x239.0 25.4 长方形 ST-285-I-Y-A 1064 12 0.36x2.40 36.0x240.0 25.4 长方形 ST-265-I-Y-A 1064 12 0.37x2.09 37.2x209.1 25.4 长方形 ST-266-I-Y-A 1064 12 0.37x2.40 36.9x239.5 25.4 长方形 ST-301-I-Y-A 1064 5.7 0.37 37 12.5 圆形 ST-299-I-Y-A 1064 5.7 0.4 40 11 圆形 TH-256-I-Y-A 1064 12 0.40x4.79 40.0x479.0 25.4 长方形 ST-222-I-Y-A 1064 5 0.41 41 25.4 圆形 ST-270-I-Y-A 1064 5 0.43 43 11 直线 ST-221-I-Y-A 1064 4.7 0.44 44 25.4 圆形 ST-296-I-Y-A 1064 4.5 0.46 46 11 直线 ST-225-I-Y-A 1064 4.5 0.47 47 25.4 正方形 ST-298-I-Y-A 1064 4.5 0.47 47 11 圆形 ST-302-I-Y-A 1064 5.7 0.48 48 12.5 圆形 TH-258-I-Y-A 1064 10 0.48 48 25.4 正方形 ST-300-I-Y-A 1064 5.7 0.49 49 11 圆形 TH-239-I-Y-A 1064 4.7 0.51 51 12.5 直线 ST-269-I-Y-A 1064 4 0.52 52 11 直线 ST-219-I-Y-A 1064 4 0.52 52 11 圆形 ST-273-I-Y-A 1064 5 0.52 52 25.4 圆形 ST-220-I-Y-A 1064 4 0.53 53 11 正方形 TH-105-I-Y-A 1064 7.5 0.54 54 25.4 圆形 PT-001-I-Y-A 1064 6 0.56 56 30 正方形 ST-295-I-Y-A 1064 3.5 0.59 59 11 直线 ST-289-I-Y-A 1064 3.5 0.6 60 11 圆形 ST-207-I-Y-A 1064 10 0.6 60 25.4 圆形 ST-290-I-Y-A 1064 3.5 0.6 60 11 正方形 TH-253-I-Y-A 1064 12 0.65x2.97 65.0x297.0 25.4 长方形 ST-293-I-Y-A 1064 3 0.68 68 11 正方形 ST-260-I-Y-A 1064 3 0.69 69 11 圆形 ST-268-I-Y-A 1064 3 0.69 69 11 直线 TH-249-I-Y-A 1064 3.2 0.74 74 12.5 直线 ST-292-I-Y-A 1064 2.5 0.81 81 11 正方形 TH-254-I-Y-A 1064 12 0.81x2.36 81.0x236.0 25.4 长方形 ST-294-I-Y-A 1064 2.5 0.83 83 11 直线 ST-297-I-Y-A 1064 2.5 0.84 84 11 圆形 ST-272-I-Y-A 1064 3 0.87 87 11 圆形 TH-215-I-Y-A 1064 6 1 100 25.4 圆形 ST-212-I-Y-A 1064 7 1 100 20 正方形 ST-291-I-Y-A 1064 2 1.02 102 11 正方形 ST-259-I-Y-A 1064 2 1.04 104 11 圆形 ST-267-I-Y-A 1064 2 1.04 104 11 直线 TH-255-I-Y-A 1064 12 1.10x1.77 110.0x177.0 25.4 长方形 ST-271-I-Y-A 1064 2 1.3 130 11 圆形 ST-314-I-Y-A 1064 1.5 1.39 139 11 圆形 ST-315-I-Y-A 1064 1.5 1.39 139 11 正方形 ST-313-I-Y-A 1064 1.5 1.39 139 11 直线 TH-260-I-Y-A 1064 6 1.71 171 25.4 正方形 ST-312-I-Y-A 1064 1 2.08 208 11 直线 ST-308-I-Y-A 1064 1 2.08 208 11 正方形 ST-307-I-Y-A 1064 1 2.08 208 11 圆形 TH-002-I-Y-A 1064 12 2.4 240 27.94 正方形 ST-206-I-Y-A 1064 10 2.7 270 25.4 直线 ST-223-I-Y-A 1064 6 3 300 25.4 直线 TH-259-I-Y-A 1064 6 3.19 319 25.4 正方形 TH-221-I-Y-A 1064 2.2 3.2 320 11 正方形 PT-005-I-N-A 1064 5 3.29 329 25.4 圆形 PT-005-I-Y-A 1064 5 3.29 329 25.4 圆形 ST-258-I-Y-A 1064 10 3.9 390 25.4 直线 TH-246-I-Y-A 1064 6 4.2 420 25.4 圆形 TH-248-I-Y-A 1064 5 5.60x0.94 560.0x94.0 25.4 长方形 TH-238-I-Y-A 1064 3 6 600 11 圆形 TH-220-I-Y-A 1064 1.125 6.2 620 11 正方形 ST-231-I-Y-A 1064 3 8.7 870 11 直线 TH-228-I-Y-A 1064 3 10 1000 11 圆形 ST-229-I-Y-A 1064 4 12 1200 11 正方形 TH-227-I-Y-A 1064 3 13.3 1330 11 圆形 TH-015-I-Y-A 1064 5.1 14.5 1450 25.4 直线 TH-013-I-Y-A 1064 7 17.5 1750 25.4 正方形 ST-232-I-Y-A 1064 3 17.67 1767 11 直线 TH-252-I-Y-A 1064 6 20 2000.1 25.4 圆形 PT-003-I-Y-A 1064 3.2 22.77 2277.1 12.7x12.7 直线 PT-006-I-Y-A 1064 2 40.30x57.10 4030.5x5711.6 12.7 椭圆形 PT-002-I-Y-A 1064 7.5 45.18x2.64 4518.8x264.0 40x40 长方形 2)355nm,工作距离100mm,其他波长可咨询 型号 激光波长[nm] 光束直径[mm] 角度[mrad] 光斑尺寸[um] 透镜尺寸 [mm] 激光光斑形状 ST-241-U-Y-A 355 10 0.068 6.8 25.4 圆形 ST-238-U-Y-A 355 10 0.068 6.8 25.4 正方形 ST-276-U-Y-A 355 10 0.069 6.9 25.4 直线 ST-236-U-Y-A 355 9 0.076 7.6 25.4 正方形 ST-278-U-Y-A 355 9 0.077 7.7 25.4 直线 ST-237-U-Y-A 355 9 0.077 7.7 25.4 圆形 ST-240-U-Y-A 355 8 0.086 8.6 25.4 圆形 ST-275-U-Y-A 355 8 0.087 8.7 25.4 直线 ST-235-U-Y-A 355 8 0.087 8.7 25.4 正方形 ST-303-U-Y-A 355 7.5 0.093 9.3 25.4 圆形 ST-230-U-Y-A 355 7 0.097 9.7 20 圆形 ST-234-U-Y-A 355 7 0.099 9.9 25.4 正方形 ST-277-U-Y-A 355 7 0.099 9.9 25.4 直线 ST-282-U-Y-A 355 6 0.11 11 25.4 正方形 ST-281-U-Y-A 355 6 0.11 11 25.4 直线 TH-257-U-Y-A 355 12 0.12x1.80 12.0x179.8 25.4 长方形 ST-239-U-Y-A 355 6 0.12 12 25.4 圆形 ST-301-U-Y-A 355 5.7 0.12 12 12.5 圆形 ST-299-U-Y-A 355 5.7 0.13 13 11 圆形 TH-256-U-Y-A 355 12 0.13x1.60 13.3x159.8 25.4 长方形 ST-222-U-Y-A 355 5 0.14 14 25.4 圆形 ST-270-U-Y-A 355 5 0.14 14 11 直线 ST-221-U-Y-A 355 4.7 0.15 15 25.4 圆形 ST-296-U-Y-A 355 4.5 0.15 15 11 直线 ST-302-U-Y-A 355 5.7 0.16 16 12.5 圆形 ST-300-U-Y-A 355 5.7 0.16 16 11 圆形 ST-298-U-Y-A 355 4.5 0.16 16 11 圆形 ST-225-U-Y-A 355 4.5 0.16 16 25.4 正方形 TH-258-U-N-A 355 10 0.16 16 25.4 正方形 TH-258-U-Y-A 355 10 0.16 16 25.4 正方形 ST-273-U-Y-A 355 5 0.17 17 25.4 圆形 TH-239-U-Y-A 355 4.7 0.17 17 12.5 直线 ST-269-U-Y-A 355 4 0.17 17 11 直线 ST-219-U-Y-A 355 4 0.17 17 11 圆形 TH-105-U-Y-A 355 7.5 0.18 18 25.4 圆形 ST-220-U-Y-A 355 4 0.18 18 11 正方形 ST-207-U-Y-A 355 10 0.2 20 25.4 圆形 ST-289-U-Y-A 355 3.5 0.2 20 11 圆形 ST-290-U-Y-A 355 3.5 0.2 20 11 正方形 ST-295-U-Y-A 355 3.5 0.2 20 11 直线 TH-253-U-Y-A 355 12 0.22x0.99 21.7x99.1 25.4 长方形 ST-293-U-Y-A 355 3 0.23 23 11 正方形 ST-268-U-Y-A 355 3 0.23 23 11 直线 ST-260-U-Y-A 355 3 0.23 23 11 圆形 TH-249-U-Y-A 355 3.2 0.25 25 12.5 直线 ST-292-U-Y-A 355 2.5 0.27 27 11 正方形 TH-254-U-Y-A 355 12 0.27x0.79 27.0x78.7 25.4 长方形 ST-294-U-Y-A 355 2.5 0.28 28 11 直线 ST-297-U-Y-A 355 2.5 0.28 28 11 圆形 ST-272-U-Y-A 355 3 0.29 29 11 圆形 TH-215-U-Y-A 355 6 0.33 33 25.4 圆形 ST-212-U-Y-A 355 7 0.33 33 20 正方形 ST-291-U-Y-A 355 2 0.34 34 11 正方形 ST-267-U-Y-A 355 2 0.35 35 11 直线 ST-259-U-Y-A 355 2 0.35 35 11 圆形 TH-255-U-Y-A 355 12 0.37x0.59 36.7x59.1 25.4 长方形 ST-271-U-Y-A 355 2 0.44 44 11 圆形 ST-315-U-Y-A 355 1.5 0.46 46 11 正方形 ST-313-U-Y-A 355 1.5 0.46 46 11 直线 ST-314-U-Y-A 355 1.5 0.46 46 11 圆形 PT-001-U-Y-A 355 6 0.57 57 30 正方形 TH-260-U-Y-A 355 6 0.57 57 25.4 正方形 ST-307-U-Y-A 355 1 0.69 69 11 圆形 ST-312-U-Y-A 355 1 0.7 70 11 直线 ST-308-U-Y-A 355 1 0.7 70 11 正方形 TH-002-U-Y-A 355 12 0.8 80 27.94 正方形 ST-206-U-Y-A 355 10 0.9 90 25.4 直线 ST-223-U-Y-A 355 6 1 100 25.4 直线 TH-259-U-Y-A 355 6 1.07 107 25.4 正方形 TH-221-U-Y-A 355 2.2 1.07 107 11 正方形 ST-258-U-Y-A 355 10 1.3 130 25.4 直线 TH-246-U-Y-A 355 6 1.4 140 25.4 圆形 TH-248-U-Y-A 355 5 1.87x0.31 186.8x31.4 25.4 长方形 TH-238-U-Y-A 355 3 2 200 11 圆形 TH-220-U-Y-A 355 1.125 2.07 207 11 正方形 ST-231-U-Y-A 355 3 2.9 290 11 直线 TH-228-U-Y-A 355 3 3.34 334 11 圆形 PT-005-U-Y-A 355 5 3.35 335 25.4 圆形 ST-229-U-Y-A 355 4 4 400 11 正方形 TH-227-U-Y-A 355 3 4.44 444 11 圆形 TH-015-U-Y-A 355 5.1 4.84 484 25.4 直线 TH-261-U-Y-A 355 5.1 5.40x0.31 540.0x31.0 25.4 长方形 TH-013-U-Y-A 355 7 5.84 584 25.4 正方形 ST-232-U-Y-A 355 3 5.9 590 11 直线 TH-252-U-Y-A 355 6 6.67 667 25.4 圆形 PT-003-U-Y-A 355 3.2 23.19 2319.1 12.7x12.7 直线 PT-006-U-Y-A 355 2 41.04x58.14 4104.1x5815.8 12.7 椭圆形 PT-002-U-Y-A 355 7.5 46.00x2.69 4601.2x268.8 40x40 长方形