电子显微镜Electronic Microscopes简称电镜，用高能电子束以非常精细的尺度研究物体，已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。为确保电子显微镜**高质量成像，实现电子显微镜隔振，电子显微镜防震台是必不可少的。传统的隔振方法主要是建造专门的隔离地板，用特殊的混凝土块改变地基，用混凝土块进行被动减震。这种方法的缺点相当明显，不可能改变工具的位置、机器停机时间长、没有灵活性、没有可配置性、价格昂贵。

K&S ArisMD减震台相比于传统的隔振方法，具有设计精致、位置灵活、安装简单且成本低、性能高、可根据环境条件进行调整的特点。

K&S主动隔振台在电子显微镜隔振的实例——蔡司电子显微镜。

K&S隔振台应用实例除了蔡司电子显微镜外，还有Tescan SEM、JEOL SEM、Hitachi SEM。

K&S主动隔振台的主要特点：

1.优势**

-6个自由度

-有源增益从0.5Hz开始

-解耦架构（正在申请专利）

-可变阻尼（正在申请专利）

-内置人工智能功能

2.体积小，设计优雅，重量轻。

3.没有使用压电元件

K&S防震台系统使用的传感器和电机的使用寿命实际上是无限的，显著降低使用寿命成本

4.安装方便——*吊装工具和重型结构。

5.能力

-执行机构行程更高

-可通过软件活动带宽进行调整

-远程控制

6.内置实时诊断工具

-频谱分析仪

-示波器

7.高度可调谐的隔振控制-系统可以配置为适应具有挑战性的环境条件

8.由于内部架构灵活，可定制