Layertec的表面光洁标准的说明
此文就讲述了镀膜镜片在ISO 10110标准下的镜片表面质量/表面公差(Surface Form Tolerances)和
表面缺陷(划痕)/表面光洁度(Surface Imperfection Tolerances)的含义,句法分析和实例。
Layertec对比了MIL标准和ISO 10110标准,
较终选择更为合适和更好理解的ISO 10110标准。
Da = RMS(旋转变异部分)
上图只显示了三维光学表面的剖面图
句法结构分析Syntax:
3/A(B/C)RMSt<Dt; RMSi<Di; RMSa<Da; λ=E
- A=Sagitta误差(弧矢差)=^较佳球面的PV;[纳米nm]或[光圈fringes]
- B=不规则度;[纳米nm]或[光圈fringes]
- C=旋转对称不规则度;[纳米nm]或[光圈fringes]
- Dt=sagitta误差的RMS;[纳米nm]或[光圈fringes]
- Di=不规则度RMS;[纳米nm]或[光圈fringes]
- Da=旋转对称不规则度RMS;[纳米nm]或[光圈fringes]
- E=边缘间距的参考波长;[纳米nm]
表面缺陷偏差(划痕)/表面光洁度Surface Imperfection Tolerances:
ISO 10110的表面质量/表面缺陷句法结构分析Syntax:
5/N×B; C N×B; L N×F; E D
- A = 缺陷面积[mm2 ]
- B =A(等级)[mm]
- C = 涂层
- D = 边缘损坏的长度[mm]
- E = 边缘损坏
- F = 划痕的宽度[mm]
- L = 划痕
- N = 缺陷数量
挖痕和划痕<2mm:
5/N×B
N = 缺陷数量(挖痕、长度<2mm的划痕、局部基底缺陷)
B = 等级数=A[mm];A:缺陷面积[mm2]
激光光学元件的可以选择值(ISO 10110未作规定):B=0.16, 0.1, 0.063, 0.04, 0.025, 0.016, 0.01
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