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美国TMC设计和制造适用于纳米技术领域的先进建筑地面光学减震平台,TMC光学隔震平台支持**精密测量、仪器和制造。TMC提供多种系列的光学减震平台和光学面包板,包括CleanTop光学平台能系列,CleanTop光学平台专业系列,用刚性联轴器拼接光学平台,CleanTop光学面包板,Hybrid Honeycomb面包板,此外TMC还提供光学平台支撑系统,适用于CleanTop光学平台和面包板的各种支腿系统。有气动、压电、混合隔震或无额外隔震性能的支腿可供选择。
CleanTop光学隔震平台的主要特点:
-**防溢光学**部
-**全钢光学**部
-**无油光学**部
-**对齐到螺纹孔阵列的蜂窝芯
-**带成型孔而不是钻孔的轻质面包板
-**与真空兼容的光学**部
CleanTop光学减震平台是光学**部的另一项创新,TMC光学减震平台已经在光学**部行业创下了多个“**”。CleanTop的具体特点如下:
-表面的液体溢出物受到限制,无法到达**部的蜂窝芯
-芯经过全面的清洁和干燥,没有残留的螺纹切削油,从而不会释放气体
-较其干净的螺纹孔使螺钉可以平稳和轻松地插入
-可以轻松取出掉入孔中的小零件
-由于在**部表面使用危险化学品时化学品不会渗入芯内,因此不小心接触芯的化学品不会对健康造成危害
CleanTop光学减震平台的应用领域:
-用于电生理学、IVF和成像的静音工作表面可实现更高的分辨率和更的测量。
-先进的消震系统创造了摩尔定律所要求的更安静环境。
-CleanTop®光学平台可提供从干涉仪到拍瓦激光器等光学系统所需的**稳定支撑。
-适用于SEM、TEM和其他带电光束工具的完整环境解决方案。
-的震动控制,可实现的测量。-微电子/微机电系统制造
CleanTop光学隔震平台能系列:
TMC光学隔震台和隔震平台采用全钢结构,具有市场上比较高的芯密度和比较小的蜂窝单元面积,可提供业界良好的性能和刚性。CleanTop性能系列具有三个阻尼性能级别以及适用于各种应用的多种配置选项。各个光学减震平台甚至可以机械连接,以便在不损失阻尼性能的情况下创建复杂的刚性工作台形状。
CleanTop光学平台能系列的规格 | |
芯 | 钢蜂窝、闭孔、0.01英寸(0.2毫米)厚的箔 |
芯剪切模量 | 275,000 PSI(19300 kg/cm2) |
芯单元尺寸 | < 0.5 in.2(3 cm2) |
芯密度 | 13.3磅/立方英尺(230 kg/m3) |
平整度 | 无论工作台尺寸如何,在整个螺纹孔图案内+/- 0.005英寸(0.13毫米) | 在2 x 2英尺(60 x 60厘米)区域内+/- 0.004英寸(0.1毫米) |
**部蒙皮 | 400系列3/16英寸(5毫米)厚的铁磁不锈钢 |
侧壁 | 由乙烯基包覆的阻尼成型钢通道 |
螺纹孔 | 由1英寸(25毫米)长的CleanTop尼龙杯支撑。钢杯可选。 |
CleanTop光学平台能系列包括三种型号系列:
研究级784系列:提供优异的光学**部性能,它结合了小的单元尺寸、高的芯密度、*特的CleanTop®设计、全钢结构以及市场上高水平的结构阻尼。研究级CleanTop适用于苛刻的应用,包括干涉仪、全息和**快激光器以及严重的地面震动环境。为了获得优异的整体震动控制效果,请考虑将此**部与LaserTable-Base™支架(混合空气/压电、2级消震系统)相结合。
科学级783系列:科学级具有与研究级相同的芯尺寸、密度、CleanTop杯和减少阻尼的全钢结构等设计特点。科学级阻尼的峰值顺应性水平比研究级阻尼的峰值顺应性水平高出4倍。
实验室级781系列:为不太严重的地面震动环境中不敏感的应用提供经济的性能水平。实验室级适用于需要刚性、平坦安装表面的一般实验室应用。
CleanTop光学平台专业系列:
CleanTop光学平台专业系列包括用于洁净室的ClassOne 790系列、非磁性710系列和真空兼容730系列。
ClassOne 790系列:与所有TMC CleanTop光学平台一样,ClassOne具有高的芯密度和小的蜂窝单元面积。每个螺纹孔下方的单个杯子都经过气密处理,**部可以防溢。ClassOne光学减震平台有各种标准和定制尺寸以及两种阻尼水平可供选择。
用于洁净室的ClassOne 790系列的规格 | |
芯 | 钢蜂窝、闭孔、0.01英寸(0.2毫米)厚的箔 |
芯剪切模量 | 275,000 PSI(19300 kg/cm2) |
芯单元尺寸 | < 0.5 in.2(3 cm2) |
芯密度 | 13.3磅/立方英尺(230 kg/m3) |
平整度 | 无论工作台尺寸如何,在整个螺纹孔图案内+/- 0.005英寸(0.13毫米) | 在2 x 2英尺(60 x 60厘米)区域内+/- 0.004英寸(0.1毫米) |
**部蒙皮 | 400系列3/16英寸(5毫米)厚的铁磁不锈钢 |
侧壁 | 不锈钢与阻尼内表面 |
螺纹孔 | 由1英寸(25毫米)长的CleanTop尼龙杯支撑。不锈钢杯可选。 |
非磁性710系列:TMC光学减震平台的CleanTop光学**部采用非磁性结构,推荐用于需要支撑高强度磁铁或保持均匀磁场的应用。虽然不锈钢合金不能100%非磁性,但316合金**层、底层和内部蜂窝结构可显著降低铁磁性能。同时,侧壁和杯子完全不含铁。
非磁性710系列的规格 | |
芯 | 316钢合金蜂窝、闭孔、0.01英寸(0.2毫米)厚的箔 |
芯剪切模量 | 275,000 PSI(19300 kg/cm2) |
芯单元尺寸 | < 0.5 in.2(3 cm2) |
芯密度 | 13.3磅/立方英尺(230 kg/m3) |
平整度 | 无论工作台尺寸如何,在整个螺纹孔图案内+/- 0.005英寸(0.13毫米) | 在2 x 2英尺(60 x 60厘米)区域内+/- 0.004英寸(0.1毫米) |
**部蒙皮 | 316合金不锈钢 - 厚度为3/16英寸(5毫米) |
侧壁 | 由乙烯基包覆的复合材料侧面与阻尼内表面 |
螺纹孔 | 由1英寸(25毫米)长的CleanTop尼龙杯支撑 |
真空兼容730系列:TMC光学隔震平台将我们固有的CleanTop®设计与几个新专有设计特征、清洁方法以及为德克萨斯大学拍瓦激光项目开发的真空泵送程序相结合,达到了以前无法达到的真空兼容水平。
用刚性联轴器连接光学隔震平台:
TMC光学隔震台通过将一个经过精密磨削和对齐的专有接合板系统焊接到**部的结构元件上,TMC可以在隔震光学平台之间提供刚性联接。TMC光学平特的工艺包括对齐技术,可确保**部保持高平整度规格,而不会因接合板焊接到**部的热效应而发生变形。
拼接后,TMC光学隔震平台就像一个整体结构。与所有大型结构一样,较大拼接系统的行为将与单个**部的行为不同。拼接隔震光学平台技术确保了多个**部之间的平整度。接合板是一组经过精密磨削的、厚20毫米(0.75英寸)的配套钢材,带有一套定位销,用于保持对齐。板沿着接合板的整个长度焊接在**部和底部蒙皮上。在组装完成后,用不锈钢带覆盖接合板。接合板的标准材料是钢。
许多形状都可提供。TMC光学隔震台通常以“端到端”配置或以“T”或“L”形状拼接。拼接式平台也可以配置为“边对边”或形状的组合。同一厚度的隔震光学平台可以相互拼接,甚至两种不同厚度的工作台也可以拼接为阶梯式配置。例如,如果一个大型**部无法装入电梯,则可以拼接工作台以协助安装。